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发布人: 皇家娱乐游戏平台网页 来源: 皇家娱乐游戏平台网页登录 发布时间: 2020-08-24 14:29

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  [0001]本发明涉及MEMS【技术领域】,尤其涉及一种低成本、低缺陷密度的聚酰亚胺涂布及烘烤方法。 【背景技术】 [0003]由感器的形貌一般是吸收红外,需要一个较大的水平表面来接收红外辐射,主流生产方法多采用表面层工艺制作。其中,聚酰亚胺高粘度聚酰亚胺被广泛运用于MEMS红感器制造工艺的层。 [0004]但在现有的加工工艺中,由于高粘度聚酰亚胺特有的粘度系数,PI涂胶后会在硅片表面形成大小约为l_7um左右的气泡缺陷且硅片背面有部分胶残留,气泡缺陷形貌如图2和图3所示。气泡缺陷在晶片表面的分布没有规律,一旦在像元区域形成,由于有气泡区域失去了 PI的支撑作用,在后续工艺中就会形成断裂,直接会形成坏斑,进而影响成像质量,气泡的连续分布甚至会造成一个片子直接报废。铝箔防水胶带。

  朱江;帝斯曼复合材料树脂集团推出两个新产品[N];中国建材报;2008年 2 亚兰;亚什兰在华代理TA公司PVC复合材料[N];中国化工报;2008年

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  于晓慧;新型高性能聚酰亚胺超薄薄膜的结构设计、制备及研究[D];大学;2011年 4 马涛;非规整主链结构的新型聚酰亚胺合成及其性能研究[D];大学;2010年透明防水胶带。

  张红宇;顾宁;陆祖宏;黄勤;韦钰;;热稳定聚酰亚胺(PI)LB膜的研究[J];功能材料;1992年01期 10 郝建军;江璐霞;;含硅聚酰亚胺的进展[J];化工新型材料;1993年09期

  记者 陈亚静;张春贤周强会见陈求发[N];湖南日报;2009年 9 本报记者 温舜方 通讯员 霍浩伟;江苏多棱:视装备制造业振兴为己任[N];中国工业报;2006年

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